ICP-MS全稱(chēng)電感耦合等離子體質(zhì)譜（Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry），可分析幾乎地球上所有元素。

　　ICP-MS儀器所使用的等離子體除了方位和線圈接地方式外，與發(fā)射光譜中使用的基本相同。所使用的質(zhì)量分析器、離子檢測(cè)器和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)又與四極桿GC-MS儀器相類(lèi)似。質(zhì)量分析器多采用四極桿質(zhì)譜計(jì)，也有采用具有高分辨的雙聚焦扇形磁場(chǎng)質(zhì)譜計(jì)、飛行時(shí)間質(zhì)譜計(jì)等。

　　ICP-MS技術(shù)是80年代發(fā)展起來(lái)的新的分析測(cè)試技術(shù)。它以將ICP的高溫（8000K）電離特性與四極桿質(zhì)譜計(jì)的靈敏快速掃描的優(yōu)點(diǎn)相結(jié)合而形成一種新型的最強(qiáng)有力的元素分析、同位素分析和形態(tài)分析技術(shù)。